水蒸氣蒸餾法多用于揮發油的提取。生產中可采用水中蒸餾、水上蒸餾與通水蒸氣蒸餾三種方法。其操作方法是將藥材飲片或粗粉，用水浸潤濕后，加適量水，直火加熱蒸餾或通入水蒸氣蒸餾，或將潤濕的藥材置有孔隔板上，下面加熱使水沸騰產生蒸氣或直接通入蒸氣，使藥材中揮發性成分隨水蒸氣餾出，由附有冷凝器的油水分離器接收，含量較高者可直接分離出揮發油，含量較低者可能僅獲得芳香水，醫|學教育網搜集整理宜視制劑要求再行蒸餾

氟化物廣泛存在于自然水體中，有色冶金、鋼鐵和鋁加工、焦炭、玻璃、陶瓷、電子、電鍍、化肥、農藥廠的廢水及含氟曠物的廢水中常常都存在氟化物，通常采用預蒸餾的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。